원 샷 3D 형상 측정기 헤드 VR-3200

모델

VR-3200

종류

헤드

대응 컨트롤러

VR-3000K

관찰 측정 범위

광시야 모드

15인치 모니터 상 배율：12×

가로(H)

24mm

세로(V)

18mm

15인치 모니터 상 배율：25×

가로(H)

12mm

세로(V)

9mm

15인치 모니터 상 배율：38×

가로(H)

8mm

세로(V)

6mm

15인치 모니터 상 배율：50×

가로(H)

세로(V)

4.5mm

고배율 모드

15인치 모니터 상 배율：40×

가로(H)

7.6mm

세로(V)

5.7mm

15인치 모니터 상 배율：80×

가로(H)

3.8mm

세로(V)

2.9mm

15인치 모니터 상 배율：120×

가로(H)

2.5mm

세로(V)

1.9mm

15인치 모니터 상 배율：160×

가로(H)

세로(V)

1.4mm

줌

1~4배

측정 가능 높이

광시야 모드：10mm(±5mm) 고배율 모드：1mm(±0.5mm)^*1

표시 분해능

0.1 µm^*2

반복 정도(σ)

높이 측정

0.5 µm^*3

폭 측정

광시야 모드：1 µm, 고배율 모드：0.5 µm^*3

측정 정도

높이 측정

±3 µm^*3

폭 측정

광시야 모드：±5 µm, 고배율 모드：±2 µm^*3

스테이지

XY 스트로크

184 x 88 mm(전동)

Z 스트로크

90 mm(전동)

회전 기구

±180°(시료 회전 스테이지)

틸트 기구

±30° 이상

작동 거리

75 mm

촬상 소자

1인치 400만 화소 흑백 CMOS

투광 렌즈

더블 텔레신트릭 렌즈x2

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

조명계

관찰용 광원

LED 링 조명(적색, 녹색, 청색)

측정용 광원

백색 LED

화상 사이즈

1024x768픽셀, 2048x1536픽셀

데이터 처리부

KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows7)^*4

정격

전원 전압

100 ~ 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

소비 전력

150 VA

내환경성

사용 주위 온도

+15 ~ +30 °C

사용 주위 습도

35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것)

중량

28.0 kg