디지털 마이크로스코프
VHX-900 시리즈
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3D 자동 측정 유닛(S30 스테이지) VHX-S15F
사양
모델 | VHX-S15F | |||
모터 | 5상 스테핑 모터 | |||
위치 결정 정밀도 | 6µm*1 | |||
반복 정도 | ±0.5µm*1 | |||
스테이지 이동량 | 15 mm | |||
분해능 | 0.05 µm/펄스 | |||
적재 하중 | 5kg | |||
정격 | 전원 전압 | 100 ~ 240 VAC, 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 70VA | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +5 ~ +40 °C | ||
사용 주위 습도 | 35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것) | |||
중량 | 3.2 kg | |||
*1 전동 스테이지 단품의 대표값 |