트리플 스캔 방식으로 「측정 불가 상태」를 해결

대상 물체의 소재나 형상·측정 범위에 맞춰 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 선택하여 고정도로 측정할 수 있습니다.

백색 간섭
레이저 공초점
포커스 바리에이션

최고 분해능 0.01 nm

나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다.
또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다.

단차가 큰 요철이나 광범위한 측정도

최대 스캔 에어리어 50 mm×50 mm.
큰 요철이나 손바닥 사이즈도 통째로 스캔하여 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다.

고배율에서도, 저배율에서도. 평평하거나 요철이 있어도.

대상 물체에 제한이 없는 측정 대응력

자세한 내용은 카탈로그를 참조해 주십시오.