측정부 VK-X130K

모델

VK-X130K

종합 배율

~19200배^*1

시야(최소 시야 범위)

16 µm~5400 µm

프레임 레이트

레이저 측정 속도

4 ~ 120 Hz, 7,900 Hz^*2

측정 원리

광학계

핀홀 공초점 광학계

수광 소자

포토 멀티 플레이어　-16 bit 센싱-

스캔 방식(일반 측정 시 및 화상 연결 시)

자동 상하한 설정 기능　고속 광량 최적화 기능(AAGⅡ)　반사 광량 부족 보완 기능(더블 스캔)

높이 측정

표시 분해능

5 nm

리니어 스케일

다이내믹 레인지(대상 물체로부터의 수광량 적응 폭)

16 bit

반복 정도(σ)

20x: 40 nm, 50x: 20 nm, 100x: 20 nm^*3

Z축 계측용 메모리

140만 스텝

측정 정도

0.2 + L/100 µm 이하 (L = 측정 길이)^*4

Z스테이지구성

구조

측정 헤드 분리 구조

최대 시료 높이

28 mm, 128 mm (선택사양)

폭 측정

표시 분해능

10 nm

반복 정도 3σ

20x: 100 nm, 50x: 50 nm, 100x: 30 nm^*3

측정 정도

±2％^*3

XY 스테이지구성 | 수동가동범위

70 mm×70 mm

XY 스테이지구성 | 전동가동범위

100 mm × 100 mm^*5

관찰

관찰 화상

초고해상도 컬러 CCD 화상
16 bit 레이저 컬러 공초점 화상
공초점＋ND 필터 광학계
C-레이저 미분 간섭 화상

최대 촬영 해상도

3072×2304

측정용 레이저 광원

파장

적색 반도체 레이저 658 nm

최대 출력

0.95 mW

레이저 등급

2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1)

중량

측정부

약 25 kg (분리 시 헤드 단품:약 8.5 kg)

컨트롤러 부

약 11 kg