측정부 VK-X260K

모델

VK-X260K

종합 배율

~28800배^*1

시야(최소 시야 범위)

11 µm~5400 µm

프레임 레이트

레이저 측정 속도

4 ~ 120 Hz, 7,900 Hz^*2

측정 원리

광학계

핀홀 공초점 광학계

수광 소자

포토 멀티 플레이어　-16 bit 센싱-

스캔 방식(일반 측정 시 및 화상 연결 시)

자동 상하한 설정 기능　고속 광량 최적화 기능(AAGⅡ)　반사 광량 부족 보완 기능(더블 스캔)

높이 측정

표시 분해능

0.5 nm

리니어 스케일

다이내믹 레인지(대상 물체로부터의 수광량 적응 폭)

16 bit

반복 정도(σ)

20x: 40 nm, 50x: 12 nm, 150x: 12 nm^*3

Z축 계측용 메모리

1400만 스텝

측정 정도

0.2 + L/100 µm 이하 (L = 측정 길이)^*4

Z스테이지구성

구조

측정 헤드 분리 구조

최대 시료 높이

28 mm, 128 mm (선택사양)

폭 측정

표시 분해능

1 nm

반복 정도 3σ

20x: 100 nm, 50x: 40 nm, 150x: 20 nm^*3

측정 정도

±2％^*3

XY 스테이지구성 | 수동가동범위

70 mm×70 mm

XY 스테이지구성 | 전동가동범위

100 mm × 100 mm^*5

관찰

관찰 화상

초고해상도 컬러 CCD 화상
16 bit 레이저 컬러 공초점 화상
공초점＋ND 필터 광학계
C-레이저 미분 간섭 화상

최대 촬영 해상도

3072×2304

측정용 레이저 광원

파장

자외선 레이저 408 nm

최대 출력

0.95 mW

레이저 등급

2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1)

중량

측정부

약 26 kg (분리 시 헤드 단품:약 10kg)

컨트롤러 부

약 11 kg