원 샷 3D 형상 측정기
VR 시리즈
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원 샷 3D 형상 측정기 헤드 VR-3050
사양
모델 | VR-3050 | |||
종류 | 헤드 | |||
대응 컨트롤러 | VR-3000K | |||
관찰 측정 범위 | 광시야 모드 | 15인치 모니터 상 배율:12× | 가로(H) | 24mm |
세로(V) | 18mm | |||
15인치 모니터 상 배율:25× | 가로(H) | 12mm | ||
세로(V) | 9mm | |||
15인치 모니터 상 배율:38× | 가로(H) | 8mm | ||
세로(V) | 6mm | |||
15인치 모니터 상 배율:50× | 가로(H) | |||
세로(V) | 4.5mm | |||
고배율 모드 | 15인치 모니터 상 배율:40× | 가로(H) | ― | |
세로(V) | ||||
15인치 모니터 상 배율:80× | 가로(H) | |||
세로(V) | ||||
15인치 모니터 상 배율:120× | 가로(H) | |||
세로(V) | ||||
15인치 모니터 상 배율:160× | 가로(H) | |||
세로(V) | ||||
줌 | 1~4배 | |||
측정 가능 높이 | 광시야 모드:10mm(±5mm)*1 | |||
표시 분해능 | 0.5 µm*2 | |||
반복 정도(σ) | 높이 측정 | 0.5 µm*3 | ||
폭 측정 | 광시야 모드:1 µm,*3 | |||
측정 정도 | 높이 측정 | ±3 µm*3 | ||
폭 측정 | 광시야 모드:±5 µm*3 | |||
스테이지 | XY 스트로크 | 70 mm*4(200 mm*5)(수동) | ||
Z 스트로크 | 88 mm(수동) | |||
회전 기구 | ― | |||
틸트 기구 | ||||
작동 거리 | 75 mm | |||
촬상 소자 | 1인치 400만 화소 흑백 CMOS | |||
투광 렌즈 | 더블 텔레신트릭 렌즈x2 | |||
수광 렌즈 | 더블 텔레센트릭 렌즈 | |||
조명계 | 관찰용 광원 | LED 링 조명(백색) | ||
측정용 광원 | 백색 LED | |||
화상 사이즈 | 1024x768픽셀, 2048x1536픽셀 | |||
데이터 처리부 | KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows7)*6 | |||
정격 | 전원 전압 | 100 ~ 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 150 VA | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +15 ~ +30 °C | ||
사용 주위 습도 | 35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것) | |||
중량 | 20.6 kg | |||
*1 초점 위치를 중심으로 광시야 모드±5 mm, 고배율 모드±0.5 mm의 범위 |