원 샷 3D 형상 측정기 헤드 (고사양 모델) VR-6200

모델

VR-6200

종류

헤드

대응 OS

Windows 10 Professional / Windows 11 Professional

컨트롤러

VR-6000

관찰 시야

저배율(광시야)

15인치 모니터 상에서의 배율 12×

가로

24.0 mm

세로

18.0 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 25×

가로

12.0 mm

세로

9.0 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 38×

가로

8.0 mm

세로

6.0 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 50×

가로

세로

4.5 mm

고배율(고해상도)

15인치 모니터 상에서의 배율 40×

가로

7.6 mm

세로

5.7 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 80×

가로

3.8 mm

세로

2.9 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 120×

가로

2.5 mm

세로

1.9 mm

15인치 모니터 상에서의 배율 160×

가로

세로

1.4 mm

줌

1 ~ 4 배

높이 측정

표시 분해능

0.1 μm

높이 측정 범위

Z연결 없음

저배율(광시야): 10 mm
고배율(고해상도): 1 mm

Z연결 있음

저배율(광시야): 50 mm
고배율(고해상도): 30 mm

반복 정도σ

Z연결 없음

0.4 μm ^*1

Z연결 있음

1.0 μm ^*1

정확도

Z연결 없음

±2.5 μm ^*1

Z연결 있음

±4.0 μm ^*1

폭 측정

반복 정도σ

저배율(광시야): 1 μm
고배율(고해상도): 0.5 μm
^*1

정확도

저배율(광시야): ±5 μm
고배율(고해상도): ±2 μm
^*1

연결 기능

전자동 측정(XY 자동 제어+Z 자동 제어, θ 자동 제어), 자동 맵 화상 작성, 자동 영역 설정
^*2

연결 기능

전동 회전 유닛

대응
^*2

XY 측정 가능 범위

300×150 mm
^*2

스테이지

XY 스트로크

278×134 mm(전동)

Z 스트로크

69 mm(전동)

내하중

4.5 kg

작동 거리

75 mm

촬상 소자

1인치 400만 화소 흑백 CMOS

투광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈 x 2

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

조명 시스템

관찰용 광원

LED 링 조명(적색, 청색, 녹색)

측정용 광원

백색 LED

데이터 처리부

KEYENCE 지정 전용 PC

전원

전원 전압

100~240 VAC±10％　50/60 Hz

소비 전력

200 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+15~30℃

사용 주위 습도

20~80％RH(결로되지 않을 것)

중량

약 28 kg ^*3