헤드 IM-7020

모델

IM-7020

종류

헤드
투과 조명・가변 조명 유닛・라이트 프로브 유닛 탑재 모델

촬상 소자

1인치　660만 화소　흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치　LCD 모니터(XGA: 1024×768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드: 200×200 mm(4모서리 R50)
고정도 측정 모드: 125×125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

스테이지 이동 없음

광시야 측정 모드: ±1 µm
고정도 측정 모드: ±0.5 µm

스테이지 이동 있음

광시야 측정 모드: ±2 µm
고정도 측정 모드: ±1.5 µm

측정 정도 ±2σ

연결 없음

광시야 측정 모드: ±5 µm^*1
고정도 측정 모드: ±2 µm^*2

연결 있음

광시야 측정 모드: ±(7+0.02L) µm^*3
고정도 측정 모드: ±(4+0.02L) µm^*4

라이트 프로브 측정

측정 가능 영역(XY)

90×90 mm

최대 측정 깊이

30 mm

라이트 프로브 직경

ø3 mm

측정력

0.015 N

반복 정도

±2 µm^*5

측정 정도

±(8+0.02L) µm^*6

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하　24 VDC　0.5 A
ON 저항　50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4포트(뒷면: 4포트)

USB2.0 시리즈 A

2포트(앞면: 2포트)

메모리

하드 디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 멀티 앵글 조명(전동)
슬릿 링(지향성) 조명(전동)

XY 스테이지

이동 범위

100×100 mm(전동)

내하중

5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC　50/60 Hz

소비 전력

430 VA 이하