컨트롤러 IM-7500

모델

IM-7500

종류

컨트롤러

촬상 소자

1인치　660만 화소　흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치　LCD 모니터(XGA:1024×768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야 측정 모드

IM-7010: 200×200 mm(4모서리 R50)
IM-7020: 200×200 mm(4모서리 R50)
IM-7030: 300×200 mm(4모서리 R50)

고정도 측정 모드

IM-7010: 125×125 mm
IM-7020: 125×125 mm
IM-7030: 225×125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

광시야 측정 모드

스테이지 이동 없음

±1 µm

스테이지 이동 있음

±2 µm

고정도 측정 모드

스테이지 이동 없음

±0.5 µm

스테이지 이동 있음

±1.5 µm

측정 정도 ±2σ

광시야 측정 모드

연결 없음

±5 µm^*1

연결 있음

IM-7010/IM-7020: ±(7+0.02L) µm^*2
IM-7030: ±(7+0.02L) µm^*3

고정도 측정 모드

연결 없음

±2 µm^*4

연결 있음

IM-7010/IM-7020: ±(4+0.02L) µm^*5
IM-7030: ±(4+0.02L) µm^*6

라이트 프로브 측정

측정 가능 영역(XY)

IM-7010: -
IM-7020: 90×90 mm
IM-7030: 190×90 mm

최대 측정 깊이

IM-7010: -
IM-7020: 30 mm
IM-7030: 30 mm

라이트 프로브 직경

IM-7010: -
IM-7020: ø3 mm
IM-7030: ø3 mm

측정력

IM-7010: -
IM-7020: 0.015 N
IM-7030: 0.015 N

반복 정도

IM-7010: -
IM-7020: ±2 µm^*7
IM-7030: ±2 µm^*7

측정 정도

IM-7010: -
IM-7020: ±(8+0.02L) µm^*8
IM-7030: ±(8+0.02L) µm^*9

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMos 출력
정격 부하:24 VDC, 0.5A
ON 저항:50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4포트(뒷면: 4포트)

USB2.0 시리즈 A

2포트(앞면: 2포트)

메모리

하드 디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

IM-7010: 4분할 링 조명
IM-7020: 4분할 멀티 앵글 조명(전동)/슬릿 링(지향성) 조명(전동)
IM-7030: 4분할 멀티 앵글 조명(전동)/슬릿 링(지향성) 조명(전동)

XY 스테이지

이동 범위

IM-7010: 100×100 mm(전동)
IM-7020: 100×100 mm(전동)
IM-7030: 200×100 mm(전동)

내하중

IM-7010: 5 ㎏
IM-7020: 5 ㎏
IM-7030: 7.5 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC　50/60 Hz

소비 전력

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃

사용 주위 습도

20~80％RH(결로되지 않을 것)

중량

컨트롤러: 약 8 kg
헤드: 약 30 kg (IM-7010), 약 31 kg (IM-7020), 약 33 kg (IM-7030)