이미지 치수 측정 시스템
IM-8000 시리즈
Ø100 스테이지 고정 낙사 링 조명 탑재 모델 IM-8005
사양
모델 | IM-8005 | |||
종류 | 헤드 | |||
촬상 소자 | 1인치 2000만 화소 흑백 CMOS | |||
디스플레이 | 12.1인치 LCD 모니터(WXGA: 1280×800) | |||
수광 렌즈 | 더블 텔레센트릭 렌즈 | |||
화상 측정 | 시야 | 광시야 측정 모드 | ø 100 mm | |
고정도 측정 모드 | 25 mm×25 mm | |||
최소 표시 단위 | 0.1 μm | |||
반복 정도 | 광시야 측정 모드 | 스테이지 이동 없음 | ±1 μm | |
스테이지 이동 있음 | - | |||
고정도 측정 모드 | 스테이지 이동 없음 | ±0.5 μm | ||
스테이지 이동 있음 | - | |||
측정 정도 ±2σ | 광시야 측정 모드 | 연결 없음 | ±3.9 μm *1 | |
연결 있음 | - | |||
고정도 측정 모드 | 연결 없음 | ±2 μm *2 | ||
연결 있음 | - | |||
외경 측정 | 측정 정도 | 광시야 측정 모드 | ±(2.8+0.02D) μm *3 | |
고정도 측정 모드 | ±(1.4+0.04D) μm *4 | |||
라이트 프로브 측정 | 측정 가능 영역(XY) | - | ||
최대 측정 깊이 | ||||
라이트 프로브 직경 | ||||
측정력 | ||||
반복 정도 | ||||
측정 정도 | ||||
외부 리모트 입력 | 무전압 입력(유접점/무접점) | |||
외부 출력 | OK/NG/FAIL/MEAS. | PhotoMos 출력 | ||
인터페이스 | LAN | RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T) | ||
USB 3.1 | 4포트(뒷면 4) | |||
USB 2.0 시리즈A | 4포트(앞면 2, 뒷면 2) | |||
모니터 출력 | DVI-D | |||
메모리 | 하드디스크 드라이브 | 500 GB | ||
조명 시스템 | 투과 | 텔레센트릭 투과 조명 | ||
낙사 | 4분할 링 조명 | |||
XY 스테이지 | 이동 범위 | - | ||
내하중 | 5 kg | |||
Z 스테이지 | 이동 범위 | 75 mm(전동) | ||
전원 | 전원 전압 | 100~240 VAC ± 10% 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 430 VA 이하 | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | +10~35℃ | ||
사용 주위 습도 | 20~80%RH(결로되지 않을 것) | |||
과전압 카테고리 | Ⅱ | |||
오염 등급 | 2 | |||
중량 | 약 24 kg | |||
*1 ø80 mm의 범위, 합초점 위치에서 사용 주위 온도 +23±1℃일 때 |