접촉식 높이 측정 유닛 IM-6225T

모델

IM-6225T

종류

헤드

촬상 소자

1인치 660만 화소 흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치 LCD 모니터 (XGA: 1024 × 768)
외부 모니터 접속 가능(클론 출력)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

화상 측정

시야

광시야: Ø100 × L200 mm, 고정도: 25 × L125 mm

최소 표시 단위

0.1 µm

반복 정도

스테이지 이동 없음

±1 µm (스테이지 이동 없음), ±0.5 µm (스테이지 이동 있음)

스테이지 이동 있음

±2 µm (스테이지 이동 없음), ±1.5 µm (스테이지 이동 있음)

측정 정도 ±2σ

연결 없음

광시야: ±5 µm ^*1고정도: ±2 µm ^*2

연결 있음

광시야: ±(7 + 0.02L) µm^*3、고정도: ±(4 + 0.02L) µm^*4

높이 측정

측정 범위

0~60 mm

측정 압력

0.3 N

측정 위치 정도(XY)

±0.7 mm

최소 표시 단위

1 µm

측정 가능 범위(XY)

표준 타입 프로브

광시야: 45 × 95 mm、고정도: 7.5 × 25 mm

와이드 타입 프로브

광시야: 95 × 95 mm、고정도: 60 × 25 mm

반복 정도

표준 타입 프로브

±2 µm^*5

와이드 타입 프로브

±5 µm^*5

측정 정도

표준 타입 프로브

±7.5 µm^*6

와이드 타입 프로브

±15 µm^*6

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

릴레이 출력/정격 부하: 24 VDC 0.5 A/ON 저항

인터페이스

LAN

RJ-45 (10BASE-T / 100BASE-TX / 1000BASE-T)

USB2.0 시리즈 A

6 포트 (전면: 2, 후면: 4)

메모리

하드 디스크 드라이브

250 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할, 멀티 앵글 조명(전동)
슬릿 링(지향성) 조명(전동)

X-축 스테이지

이동 범위

100 mm (전동)

Z 스테이지

30 mm (전동)

Z-축 스테이지

내하중

2 kg

전원

전원 전압

100~240VAC 50 / 60Hz

소비 전력

310 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10 ~ +35 °C

사용 주위 습도

20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

중량

약 34 kg