헤드 LM-1100

모델

LM-1100

종류

헤드

촬상 소자

1인치　2000만 화소　흑백 CMOS

디스플레이

10.4인치 LCD 모니터(XGA: 1024×768)

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

이미지 측정

시야

광시야 측정 모드

225 mm×125 mm

고정도 측정 모드

206 mm×106 mm

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

시야 내(2σ)

광시야 측정 모드

±0.5 μm

고정도 측정 모드

±0.1 μm

스테이지 이동 있음

X·Y축

±0.9 μm

XY 평면

측정 정도

시야 내(2σ)

광시야 측정 모드

±2 μm ^*1

고정도 측정 모드

±0.7 μm ^*2

스테이지 이동 있음

X·Y축(EUX, MPE, EUY, MPE)

±(1.8+0.02L) μm ^*3

XY 평면(EUXY, MPE)

±(2.8+0.02L) μm ^*3

높이 측정

반복 정도

±2 μm

측정 정도(EUZ, MPE)

±(4.8＋0.04L) μm ^*4

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 출력
정격 부하 24 VDC, 0.5 A
ON 저항　50 mΩ 이하

인터페이스

LAN

RJ-45(10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

2포트(뒷면 2)

USB 2.0 Series A

4포트(앞면 2, 뒷면 2)

모니터 출력

DVI-D

메모리

하드디스크 드라이브

500 GB

조명 시스템

투과

텔레센트릭 투과 조명

낙사

4분할 멀티 앵글 조명(전동)
슬릿 링(지향성) 측사 조명(전동)
텔레센트릭 동축 조명

외부 조명 제어

광량 제어

PWM 제어 100 kHz

출력 전압

12 VDC

출력 전류

1.6 A(최대)

XY 스테이지

이동 범위

200 mm × 100 mm(전동)

내하중

7 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC±10%(50/60 Hz)

소비 전력

430 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃ ^*5

사용 주위 습도

20~80％RH(결로되지 않을 것)

과전압 카테고리

Ⅱ

오염 등급

2

중량

약 30 kg