헤드 멀티 컬러 레이저/터치 프로브 탑재 모델 LM-X100TL

모델

LM-X100TL

종류

헤드

촬상 소자

1인치　2000만 화소　흑백 CMOS

수광 렌즈

더블 텔레센트릭 렌즈

이미지 측정

시야

광시야 측정 모드

325 mm × 175 mm

고정도 측정 모드

306 mm × 156 mm

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

시야 내(2σ)

광시야 측정 모드

±0.5 μm

고정도 측정 모드

±0.1 μm

스테이지 이동 있음

X·Y축

±0.9 μm

XY 평면

측정 정도

시야 내(2σ)

광시야 측정 모드

±2 μm ^*1

고정도 측정 모드

±0.7 μm ^*2

스테이지 이동 있음

X·Y축(EUX, MPE, EUY, MPE)

±(1.8 + 0.02 L) μm ^*3

XY 평면(EUXY, MPE)

±(2.8 + 0.02 L) μm ^*3

높이 측정

반복 정도

±2 μm

측정 정도(EUZ, MPE)

±(4.8 + 0.04 L) μm ^*4

레이저 높이 측정

측정 가능 범위(XY)

239 mm × 146 mm

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

±0.6 μm ^*5

측정 정도(EUZ, MPE)

±(4.8 + 0.04 L) μm ^*4

스폿 직경

φ50 μm

레이저 등급

Class 1

터치 프로브 측정

측정 가능 범위(XY)

248 mm × 141 mm

측정력

0.015 N ^*6

최소 표시 단위

0.1 μm

반복 정도

X·Y축

±1.4 μm

XY 평면

Z축

측정 정도

X·Y축(EUX,MPE,EUY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L) μm ^*7

XY 평면(EUXY, MPE)

±(3.8 + 0.02 L) μm ^*7

Z축(EUZ, MPE)

±(4.8 + 0.04 L) μm ^*4

외부 리모트 입력

무전압 입력(유접점/무접점)

외부 출력

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 출력
정격 부하 24 VDC, 0.5 A
ON 저항　50 mΩ 이하

조명 시스템

투과

녹색 LED 텔레센트릭 투과 조명

낙사

컬러 LED,
백색 LED 4분할 멀티 앵글 조명(전동)
녹색 LED 슬릿 링(지향성) 측사 조명(전동)
백색 LED 텔레센트릭 동축 조명

외부 조명 제어

광량 제어

PWM 제어 100 kHz

출력 전압

12 VDC

출력 전류

1.6 A(최대)

XY 스테이지

이동 범위

300 mm × 150 mm
(전동)

내하중

7 kg

Z 스테이지

이동 범위

75 mm(전동)

전원

전원 전압

100~240 VAC±10％(50/60 Hz)

소비 전력

150 VA 이하

내환경성

사용 주위 온도

+10~35℃ ^*8

사용 주위 습도

20~80%RH(결로되지 않을 것)

과전압 카테고리

Ⅱ

오염 등급

2

중량

약 35 kg