광학 유닛 (형상 측정 타입・수출 규제 해당품) CL-PT010G

CL-PT010G - 광학 유닛 (형상 측정 타입・수출 규제 해당품)

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

사양

모델			CL-PT010G ^*1
종류			광학 유닛
헤드			CL-PT010 ^*1
기준 거리			10 mm
표준측정 범위	측정 범위		± 0.3 mm
	직선성		± 0.11 µm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		± 0.15 mm
	직선성		± 0.09 µm ^*2
분해능			0.001 µm ^*3
스폿 직경			ø 3.5 µm
레이저 등급	광학 유닛		1 등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 µs (4 단계 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP64(IEC60529)
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도	헤드	0 ~ 50℃
		광학 유닛
	사용 주위 습도		20 ~ 85%RH(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10 ~ 57 Hz　복진폭 0.45 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간
		광학 유닛	10 ~ 57 Hz　복진폭 0.3 mm　X, Y, Z 각 방향 2 시간
	내충격		15 G　6 ms
온도 특성	헤드		0.1% of F.S. /℃ ^*4
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃
재질	헤드		앞부분: SUS　뒷부분: 알루미늄
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 1100 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384 회 측정한 값입니다. (CL-PT010/CL-PT010G만 평균 횟수 4096 회 측정한 값) ^4 헤드와 대상물 사이를 SUS303(또는 SUS304)의 지그로 고정했을 경우의 숫자입니다.