광학 유닛 (진공·내열 50 mm 타입・수출 규제 해당품) CL-V050G

CL-V050G - 광학 유닛 (진공·내열 50 mm 타입・수출 규제 해당품)

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

사양

모델			CL-V050G
종류			광학 유닛
헤드			CL-V050 ^*1
기준 거리			50 mm
표준측정 범위	측정 범위		±4 mm
	직선성		±1.25 μm ^*2
고정도측정 범위	측정 범위		±1.6 mm
	직선성		±1.15 μm ^*2
분해능			0.03 μm ^*3
스폿 직경			φ40 μm
레이저 등급	광학 유닛		1등급
샘플링 주기			100/200/500/1000 μs(4단 가변)
내환경성	보호 구조	헤드	IP40　진공용 탈기 구조 ^*4
	사용 주위 조도		물체면 조도 30000 lux(백열등)
	사용 주위 온도	헤드	-20~200℃
		광학 유닛	0~50℃
	사용 주위 습도		85%RH 이하(결로되지 않을 것)
	내진동	헤드	10~57 Hz 복진폭 1.5 mm X, Y, Z 각 방향 2시간
		광학 유닛	10~57 Hz 복진폭 0.3 mm X, Y, Z 각 방향 2시간
	내충격		15 G　6 ms
	진공		초고진공 대응^*5
온도 특성	헤드		0.015% of F.S. /℃ ^*6
	광학 유닛		0.015% of F.S. /℃
재질	헤드		SUS304
	광학 유닛		폴리카보네이트
중량	헤드		약 100 g
	광학 유닛		약 1600 g
^1 헤드와 광학 유닛은 세트로 조정됩니다. 호환성은 없습니다. ^2 당사 기준 대상 물체(경면체)를 변위 모드로 측정한 값입니다. ^3 당사 기준 대상 물체(경면체)를 평균 횟수 16384회 측정한 값입니다. ^4 부속 스티커를 붙이면 IP50에 상응합니다 ^5 10^-6 Pa 환경에서 동작 검증 완료. ^6 헤드와 대상물 사이를 SUS303(또는 SUS304)의 지그로 고정했을 경우의 숫자입니다.