초고속·고정도 레이저 변위 센서

LK-G5000 시리즈

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용도 초고속·고정도 레이저 변위 센서 LK-G5000 시리즈

표면이 거친 대상 물체

전극 두께 측정

디스크 회전자 진동 측정

와이핑 노즐 위치 제어

표면이 미세한 대상 물체

태양광모듈 두께 측정

줌 렌즈 조립 정밀도

커넥터 높이 측정

투명/경면체

터치 패널의 높이와 갭 측정

패턴이 있는 웨이퍼 Z축 위치 설정

HDD 리더 암과 디스크 간의 단차 측정

유리기판의 두께, 휨 및 평행 상태 측정