3D 백색 간섭 변위 센서
WI-5000 시리즈
센서 헤드 WI-010
*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.
사양
모델 | WI-010*1*2*3 | |||
기준 거리 | 18 mm | |||
측정 범위 | Z | 1.4 mm(표준 모드), 0.7 mm(고속 모드) | ||
XY | 10 × 10 mm | |||
최소 검출 에어리어 | 40 × 40 µm | |||
반복 정도(단차) | 0.1 µm*4 | |||
직선성(단차) | ±2.8 µm (±0.2 % of F.S., F.S. = 1.4 mm, +20 ~ +30 °C)*5 | |||
측정용 광원 | 종류 | 적외 SLD | ||
중심 파장 | 830 nm | |||
레이저 등급(IEC60825-1) | 3R등급 | |||
출력 | 3.6 mW | |||
가이드용 광원 | 종류 | 적색 반도체 레이저 | ||
파장 | 660 nm | |||
레이저 등급(IEC60825-1) | 1등급 | |||
출력 | 0.15 mW | |||
샘플링 주기 | 내부 트리거 | 133 ms(고속 모드), 266 ms(표준 모드) | ||
외부 트리거 | 최고 속도 266 ms(고속 모드), 최고 속도 532 ms(표준 모드)*6 | |||
내환경성 | 사용 주위 조도 | 백열 램프·형광등: 5,000 lux 이하 | ||
사용 주위 온도 | 0 ~ +35 °C | |||
사용 주위 습도 | 20 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것) | |||
중량 | 약 3,000 g | |||
*1 FDA(CDRH)의 Laser Notice의 규정에 따라 IEC60825-1의 기준으로 등급 구분을 실시하고 있습니다.높이(헤드 기준면에서 측정 대상 물체까지의 거리) 분해능은 1 µm(*2)입니다. |