마이크로 헤드형 분광 간섭 레이저 변위 센서
SI-F 시리즈
분광 유닛 SI-F80U
*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.
사양
모델 | SI-F80U | |||
종류 | 두께 측정 타입 분광 유닛 | |||
측정 범위 | 0.05~1.1 mm *1 | |||
측정용 광원 | 적외 SLD 중심 파장 820nm 최대 0.6mW 1등급 레이저 제품(IEC60825-1) | |||
스폿 직경 | ø20µm *2 | |||
직선성 | ±0.2µm *3 | |||
분해능 | 0.001 µm*4 | |||
샘플링 주기 | 200µs | |||
가이드용 광원 | 적색 LD 655nm 최대 0.1mW 1등급 (JIS C6802) | |||
LED 표시 | 측정 중심 부근:녹색 점등 측정 범위 안:주황색 점등 측정 범위 밖:주황색 점멸 | |||
온도 특성 | 0.01% of F.S. | |||
내환경성 | 보호 구조 | ― | ||
사용 주위 조도 | 백열 램프, 형광등: 10,000 lux 이하 | |||
사용 주위 온도 | 0 ~ +35 °C | |||
사용 주위 습도 | 35 ~ 80 % RH (결로되지 않을 것) | |||
내진동 | 10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간 | |||
재질 | 폴리카보네이트 | |||
중량 | 약 1 kg | |||
*1 두께 측정 타입은 글라스 간의 틈새 두께의 측정 범위를 나타내고 있습니다. 검출 가능한 거리 범위 내에 측정 대상면에 들어오도록 해주십시오. |