분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기
SI-F80R 시리즈
컨트롤러 제공 SI-F1001
*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.
사양
모델 | SI-F1001*1 | |||
종류 | 메인 컨트롤러 분리형 *2 | |||
분광 유닛 접속 대수 | 2대 | |||
표시 | 최소 표시 단위 | 0.001µm | ||
표시 범위 | ±999.999µm~±9999.99mm (7단계 선택 가능) | |||
표시 주기 | 10회/초 | |||
단자대 | 레이저 리모트 인터록 입력 | 무전압 입력 *3 | ||
타이밍 1 입력 | ||||
리셋 1 입력 | ||||
오토 제로 1 입력 | ||||
레이저 오프 1/2 입력 | ||||
아날로그 전압 출력 | ±10V×2출력 출력 임피던스 100Ω *3 | |||
아날로그 전류 출력 | 4~20 mA×2출력 최대 부하 저항 350 Ω *3 | |||
알람 출력 | NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) *3 | |||
종합 판정 출력 | NPN 오픈 컬렉터 출력 *3 | |||
확장 커넥터 | 타이밍 2 입력 | 무전압 입력 *3 | ||
리셋 2 입력 | ||||
오토 제로 2 입력 | ||||
프로그램 전환 입력 | 무전압 입력×3 입력 *3 | |||
알람 출력 | NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) *3 | |||
판정·바이너리 출력 | 바이너리 출력 | 측정값 데이터 출력 (21bit) | ||
스트로브 출력 | NPN 오픈 컬렉터 출력 *3 | |||
바이너리 선택 출력 | ||||
바이너리 선택 입력 | 무전압 입력 *3 | |||
RS-232C 인터페이스 | 측정 데이터 출력 및 제어 입출력 | |||
USB 인터페이스 | USB2.0 HI-SPEED 대응 | |||
Ethernet 인터페이스 | 100Base-TX/10Base-T | |||
주요 기능 | 12OUT 동시 측정 기능, 연산 기능, 평균 기능, 필터 기능, 교정 기능, 계측 기능, | |||
정격 | 전원 전압 | 24 VDC ±10 %, 리플 (P-P) 10 % 이하 | ||
소비 전류 | 헤드 1 대 접속 시 0.6 A 이하, 헤드 6 대 접속 시 1.5 A 이하 | |||
내환경성 | 사용 주위 온도 | 0 ~ +50 °C*4 | ||
사용 주위 습도 | 35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것) | |||
내진동 | 10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간 | |||
중량 | 약 600 g | |||
*1 SI-F1000 단독으로 사용할 수 있습니다. 측정값 표시 및 설정 변경은 표시 패널(SI-FD500) 또는 설정 지원 소프트웨어(SI-H1)에서 가능합니다. |