분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기
SI-F80R 시리즈
헤드 증설 유닛 SI-FA100
*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.
사양
모델 | SI-FA100*1 | |||
종류 | 헤드 증설 유닛 *2 | |||
분류형 | SI-FA100 | |||
분광 유닛 접속 대수 | 1대 | |||
표시 | 최소 표시 단위 | 없음 | ||
표시 범위 | ||||
표시 주기 | ||||
단자대 | 레이저 리모트 인터록 입력 | 없음 *3 | ||
타이밍 1 입력 | ||||
리셋 1 입력 | ||||
오토 제로 1 입력 | ||||
레이저 오프 1/2 입력 | ||||
아날로그 전압 출력 | ±10V×1출력 출력 임피던스 100Ω *3 | |||
아날로그 전류 출력 | 4~20 mA×1출력 최대 부하 저항 350 Ω *3 | |||
알람 출력 | 없음 *3 | |||
종합 판정 출력 | ||||
확장 커넥터 | 타이밍 2 입력 | |||
리셋 2 입력 | ||||
오토 제로 2 입력 | ||||
프로그램 전환 입력 | ||||
알람 출력 | ||||
판정·바이너리 출력 | 바이너리 출력 | |||
스트로브 출력 | ||||
바이너리 선택 출력 | ||||
바이너리 선택 입력 | ||||
RS-232C 인터페이스 | 없음 | |||
USB 인터페이스 | ||||
Ethernet 인터페이스 | ||||
주요 기능 | 12OUT 동시 측정 기능, 연산 기능, 평균 기능, 필터 기능, 교정 기능, 계측 기능, | |||
정격 | 전원 전압 | 메인 컨트롤러에서 공급 | ||
소비 전류 | ||||
내환경성 | 사용 주위 온도 | 0 ~ +50 °C*4 | ||
사용 주위 습도 | 35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것) | |||
내진동 | 10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간 | |||
중량 | 약 300 g | |||
*1 SI-F1000 단독으로 사용할 수 있습니다. 측정값 표시 및 설정 변경은 표시 패널(SI-FD500) 또는 설정 지원 소프트웨어(SI-H1)에서 가능합니다. |