분광 간섭식 웨이퍼 두께 측정기

SI-F80R 시리즈

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표시 패널 SI-FD500

SI-FD500 - 표시 패널

*제품 사진은 사용 방법을 알기 쉽게 하기 위해 부속품이 설치된 상태로 촬영되는 경우가 있습니다.

데이터 시트 (PDF)

매뉴얼

CAD 데이터

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소프트웨어

  • CE Marking

사양

모델

SI-FD500

종류

메인 컨트롤러 분리형 *1

분광 유닛 접속 대수

2대

표시

최소 표시 단위

0.001µm

표시 범위

±999.999µm~±9999.99mm (7단계 선택 가능)

표시 주기

10회/초

단자대

레이저 리모트 인터록 입력

무전압 입력 *2

타이밍 1 입력

리셋 1 입력

오토 제로 1 입력

레이저 오프 1/2 입력

아날로그 전압 출력

±10V×2출력 출력 임피던스 100Ω *2

아날로그 전류 출력

4~20 mA×2출력 최대 부하 저항 350 Ω *2

알람 출력

NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) *2

종합 판정 출력

NPN 오픈 컬렉터 출력 *2

확장 커넥터

타이밍 2 입력

무전압 입력 *2

리셋 2 입력

오토 제로 2 입력

프로그램 전환 입력

무전압 입력×3 입력 *2

알람 출력

NPN 오픈 컬렉터 출력 (N.C.) *2

판정·바이너리 출력

바이너리 출력

측정값 데이터 출력 (21bit)
OUT 선택 가능 NPN 오픈 컬렉터 출력 *2

스트로브 출력

NPN 오픈 컬렉터 출력 *2

바이너리 선택 출력

바이너리 선택 입력

무전압 입력 *2

RS-232C 인터페이스

측정 데이터 출력 및 제어 입출력
(전송 속도 115200bit/s까지 선택 가능)

USB 인터페이스

USB2.0 HI-SPEED 대응
(USB1.1 Full-SPEED 호환)

Ethernet 인터페이스

100Base-TX/10Base-T

주요 기능

12OUT 동시 측정 기능, 연산 기능, 평균 기능, 필터 기능, 교정 기능, 계측 기능,
측정값 알람 설정 기능, 공차 설정 기능, 오토 제로 기능, 데이터 스토리지 기능,
광량 모니터 기능, 8프로그램 메모리 기능, 간섭계 모드, 마스터 기능,
설정 지원 소프트웨어 접속 기능 기타

정격

전원 전압

24 VDC ±10 %, 리플 (P-P) 10 % 이하

소비 전류

헤드 1 대 접속 시 0.6 A 이하, 헤드 6 대 접속 시 1.5 A 이하

내환경성

사용 주위 온도

0 ~ +50 °C*3

사용 주위 습도

35 ~ 85 % RH (결로되지 않을 것)

내진동

10 ~ 55 Hz, 복진폭 0.5 mm, X,Y,Z 각 방향 2 시간

중량

약 600 g

*1 SI-F1000 단독으로 사용할 수 있습니다. 측정값 표시 및 설정 변경은 표시 패널 (SI-FD500) 또는 설정 지원 소프트웨어 (SI-H1)에서 가능합니다.
*2 ・NPN 오픈 컬렉터의 출력 정격 최대 50 mA (40 V 이하), 잔류 전압 0.5 V 이하
・무전압 입력 정격 ON 전압 1 V 이하, OFF 전류 0.6 mA 이하
・본 기기의 각 입출력 회로 간은 일부의 내부가 공통으로 되어 있습니다. 배선이나 외부 기기 사이의 전위차로 인해 내부의 공통 단자 간에 전위차가 발생하지 않도록 해주십시오.
*3 증설 컨트롤러 수가 2 대 이상인 경우 사용 주위 온도는 0 ~ +40 °C 입니다.

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