현미경 / 마이크로스코프 / 3D 형상 측정기

산업 및 과학 분야에서 사용되는 첨단 마이크로스코프입니다.

라인업

VHX-X1 시리즈 - 디지털 마이크로스코프

동급 최고 해상도를 자랑하는 4K CMOS와 4K 대응 렌즈와 더불어 기존에는 확인할 수 없었던 미세한 요철도 선명하게 관찰할 수 있는 Advanced Optical Shadow Effect Mode 기능을 탑재했습니다. 풀 컨트롤 시스템으로 누구나 직관적으로 조작할 수 있습니다. 뿐만 아니라 차이를 순식간에 자동으로 판별하는 외관 검사기와 기존 대비 9배 확장된 분석 범위를 자랑하는 300mm 대형 스테이지, 금속 현미경에 대응하는 고해상도 리볼버 렌즈 등 다양한 커스터마이징을 통해 다양한 분석 업무를 지원할 수 있는 신개념 현미경 시스템입니다.

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EA-300 시리즈 - 레이저 원소 분석 헤드

VHX 시리즈에 장착할 수 있는 원소 분석 헤드가 출시됨에 따라, 이제 마이크로스코프를 사용하여 원소 분석을 진행할 수 있게 되었습니다. 대상 물체를 스테이지에 올려놓기만 하면 분석할 수 있으므로 대상 물체를 파괴하거나, 증착·진공 처리하는 등의 전처리 작업도 필요하지 않습니다. 또한 누구나 원소 분석 후의 물질을 정확히 특정할 수 있도록, AI-서제스트 기능을 탑재하여 고객을 지원합니다.

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VK-X3000 시리즈 - 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경

백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 「VK-X3000 시리즈」는 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 구분해서 사용하는 「트리플 스캔 방식」을 채택하여 다양한 대상 물체를 고정도로 측정·분석할 수 있습니다. 최고 분해능 0.01 nm 실현을 통해 나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다. 최대 스캔 에어리어가 50 mm×50 mm이므로 큰 요철이나 손바닥 사이즈인 대상 물체도 통째로 스캔할 수 있으므로 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다. 또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다. 고배율/저배율, 평면/요철/표면 거칠기, 경면/투명 등 대상 물체에 제한이 없는 완전히 새로운 레이저 현미경입니다.

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