프리 앵글 관찰 시스템(Z축 전동 스테이지) VHX-S90F

모델

VHX-S90F

종류

Z 스테이지

XYθ 스테이지

XY 스테이지 전동/수동

수동

XY 자동 스테이지 모터

-

XY 자동 스테이지 분해능

XY 자동 스테이지 이동 속도

XY 스테이지 이동량

X: ±37.5 mm, Y: ±25 mm

θ 회전각

360도

XYθ 스테이지 사이즈

윗면 180×136 mm

투과 조명 관찰 대응 배율

-

포커스 Z축

Z 스테이지 전동/수동

전동

Z 자동 스테이지 모터

2상 스테핑 모터

Z 자동 스테이지 분해능

1 μm(typ)

Z 자동 스테이지 이동 속도

5 mm/sec(최대)

Z 스테이지 이동량

전동: 29 mm 수동: 33 mm

스테이지 Z축

Z 스테이지 전동/수동

수동

Z 자동 스테이지 모터

-

Z 자동 스테이지 분해능

Z 자동 스테이지 이동 속도

Z 스테이지 이동량

47 mm

사이드 카메라

없음

적재 하중

1 kg

정격

전원 전압

DC 12 V

소비 전력

18 VA

내환경성

사용 주위 온도

+5~40℃

사용 주위 습도

35~80%RH(결로되지 않을 것)

중량

약 14.2 kg