대형 프리 앵글 관찰 시스템 (스테이지 XYZ 전동, 포커스 Z 전동) VHX-S770E

모델

VHX-S770E

XYθ 스테이지

XY 스테이지 전동/수동

전동

XY 자동 스테이지 모터

2상 스테핑 모터

XY 자동 스테이지 분해능

1 µm(typ)

XY 자동 스테이지 이동 속도

20 mm/sec(최대)

XY 스테이지 이동량

±50 mm

θ 회전각

-

XYθ 스테이지 사이즈

윗면 233 mm×185 mm(중앙 원판 ø168)

투과 조명 관찰 대응 배율

20배 이상

포커스 Z축

Z 스테이지 전동/수동

전동

Z 자동 스테이지 모터

5상 스테핑 모터

Z 자동 스테이지 분해능

0.1 µm(typ)

Z 자동 스테이지 이동 속도

17 mm/sec(최대)

Z 스테이지 이동량

49 mm

스테이지 Z축

Z 스테이지 전동/수동

전동

Z 자동 스테이지 모터

2상 스테핑 모터

Z 자동 스테이지 분해능

1 μm(typ)

Z 자동 스테이지 이동 속도

10 mm/sec(최대)

Z 스테이지 이동량

50 mm

사이드 카메라

있음·VGA

적재 하중

5 kg

정격

전원 전압

100~240 VAC ±10％ 50/60 Hz

소비 전력

130 VA

내환경성

사용 주위 온도

+5~40℃

사용 주위 습도

20~80%RH(결로되지 않을 것)

중량

25.3 kg