초대형 프리 앵글 관찰 시스템 300×300 mm X·Y·Z 초대형 스테이지 VHX-SL1B

모델

VHX-SL1B

XYθ 스테이지

XY 스테이지 전동/수동

전동

XY 자동 스테이지 모터

2상 스테핑 모터

XY 자동 스테이지 이동 속도

40 mm/sec(최대)

XY 스테이지 이동량

±150 mm

θ 회전각

-

XYθ 스테이지 사이즈

376.5 mm×378 mm

투과 조명 관찰 대응 배율

-

포커스 Z축

Z 스테이지 전동/수동

전동

Z 자동 스테이지 모터

5상 스테핑 모터

Z 자동 스테이지 이동 속도

17 mm/sec(최대)

Z 스테이지 이동량

49 mm

사이드 카메라

없음

적재 하중

30 kg

정격

전원 전압

100~240 VAC ±10%
50/60 Hz

소비 전력

80 VA

내환경성

사용 주위 온도

+5~40℃

사용 주위 습도

~80%RH(결로되지 않을 것)

중량

50.7 kg