형상 측정 레이저 마이크로스코프
VK-X 시리즈
권장되는 대체 제품: 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 - VK-X3000 시리즈
고객 문의: 031-789-4300 문의 양식
전동 X-Y 스테이지 VK-S105
사양
모델 | VK-S105 | |||
이동 방향 | X·Y축 | |||
스트로크 | 50×50 mm | |||
테이블 사이즈 | 100×100 mm | |||
가이드 방법 | 크로스 롤러 가이드 | |||
피드 방법 | 정밀 폴 나사, 리드 1 mm | |||
축 변환 관성 | X축 9.29×10-7kg·m2, Y축 9.62×10-7kg·m2 | |||
모터 | 0.35A/상, 5상 스테핑 모터 | |||
분해도 | 1 µm | |||
위치 결정 정밀도 | 10 µm | |||
반복 위치 결정 정밀도 | ±1 µm | |||
반동 | 1 µm | |||
로스트 모션 | 3 µm | |||
직관성 (수직·수평) | 5 µm | |||
평행성 A | X: 10 µm, Y: 10 µm | |||
XY 직각도 | 10 µm | |||
내가중 | 3 kg | |||
주 재료·개관 | 알루미늄 합금·블랙 알루마이트 마무리 | |||
중량 | 2.5 kg |