형상 측정 레이저 마이크로스코프 VK-X110

모델

VK-X110

종류

현미경부

대물 렌즈 배율

15인치 모니터 상 배율 200

10×

15인치 모니터 상 배율 400

20×

15인치 모니터 상 배율 1000

50×

15인치 모니터 상 배율 2000

100×

관찰 측정 범위

가로 (H)：μm

15인치 모니터 상 배율 200

1350

15인치 모니터 상 배율 400

675

15인치 모니터 상 배율 1000

270

15인치 모니터 상 배율 2000

135

세로 (V)：μm

15인치 모니터 상 배율 200

1012

15인치 모니터 상 배율 400

506

15인치 모니터 상 배율 1000

202

15인치 모니터 상 배율 2000

101

작동 거리：mm

15인치 모니터 상 배율 200

16.5

15인치 모니터 상 배율 400

3.1

15인치 모니터 상 배율 1000

0.54

15인치 모니터 상 배율 2000

0.3

개구수 (N.A)

15인치 모니터 상 배율 200

15인치 모니터 상 배율 400

0.46

15인치 모니터 상 배율 1000

0.8

15인치 모니터 상 배율 2000

0.95

광학 줌

1x~8x

종합 배율

200×~16000×

관찰·측정용 광학계

핀 홀에 의한 공초점 광학계

높이 측정

측정 범위

7 mm

표시 분해능

0.005 µm

반복 정도(σ)

0.02 µm^*1

폭 측정

표시 분해능

0.01 µm

프레임 메모리

픽셀 수

2048×1536、1024×768、1024×64

영상용 (흑백)

16 bit

영상용 (컬러)

RGB 각 8bit

높이 측정용

21 bit

프레임 레이트

면 스캔

4~120Hz

라인 스캔

7900 Hz

측정용 레이저 광원

파장

적색 반도체 레이저 658 nm

최대 출력

0.95 mW

레이저 등급

2등급 레이저 제품(IEC 60825-1, FDA(CDRH) Part1040.10)

수광 소자

PMT(광전자 증배관)

광학 관찰용 광원

램프

100W 할로겐

광학 관찰용

1/3" 컬러 CCD 이미지 센서

게인, 셔터 스피드

데이터 처리부

KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows7) ^*2

소프트웨어부

RPD 기능 소프트웨어

빠르고 정확하게 측정 결과를 검출하는 알고리즘

AAG 기능 소프트웨어

자동으로 설정 범위 내의 레이저 수광 감도를 조정하는 소프트웨어

간단 모드 기능 소프트웨어

플로 차트 방식으로 간단히 측정할 수 있는 소프트웨어

정격

전원 전압

100 ~ 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

소비 전력

최대 450 VA

중량

약 25 kg (분리 시 헤드 단품: 약 8.5 kg)