형상 측정 레이저 마이크로스코프
VK-X 시리즈
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형상 측정 레이저 마이크로스코프 VK-X200K
사양
모델 | VK-X200K | |||
종류 | 컨트롤러부 | |||
대물 렌즈 배율 | 15인치 모니터 상 배율 100 | ― | ||
15인치 모니터 상 배율 200 | ||||
15인치 모니터 상 배율 400 | ||||
15인치 모니터 상 배율 1000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 2000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 3000 | ||||
관찰 측정 범위 | 가로 (H):μm | 15인치 모니터 상 배율 100 | ||
15인치 모니터 상 배율 200 | ||||
15인치 모니터 상 배율 400 | ||||
15인치 모니터 상 배율 1000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 2000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 3000 | ||||
세로 (V):μm | 15인치 모니터 상 배율 100 | |||
15인치 모니터 상 배율 200 | ||||
15인치 모니터 상 배율 400 | ||||
15인치 모니터 상 배율 1000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 2000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 3000 | ||||
작동 거리:mm | 15인치 모니터 상 배율 100 | |||
15인치 모니터 상 배율 200 | ||||
15인치 모니터 상 배율 400 | ||||
15인치 모니터 상 배율 1000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 2000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 3000 | ||||
개구수 (N.A) | 15인치 모니터 상 배율 100 | |||
15인치 모니터 상 배율 200 | ||||
15인치 모니터 상 배율 400 | ||||
15인치 모니터 상 배율 1000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 2000 | ||||
15인치 모니터 상 배율 3000 | ||||
광학 줌 | 1x~8x | |||
종합 배율 | 200×~24000× | |||
관찰·측정용 광학계 | 핀 홀에 의한 공초점 광학계 | |||
높이 측정 | 측정 범위 | 7 mm | ||
표시 분해능 | 0.0005 µm | |||
반복 정도(σ) | 0.012 µm*1 | |||
폭 측정 | 표시 분해능 | 0.001 µm | ||
프레임 메모리 | 픽셀 수 | 2048×1536、1024×768、1024×64 | ||
영상용 (흑백) | 16 bit | |||
영상용 (컬러) | RGB 각 8bit | |||
높이 측정용 | 24 bit | |||
프레임 레이트 | 면 스캔 | 4~120Hz | ||
라인 스캔 | 7900 Hz | |||
측정용 레이저 광원 | 파장 | 자외선 레이저 408nm | ||
최대 출력 | 0.95 mW | |||
레이저 등급 | 2등급 (JIS C6802) | |||
수광 소자 | PMT(광전자 증배관) | |||
광학 관찰용 광원 | 램프 | 100W 할로겐 | ||
광학 관찰용 | 1/3" 컬러 CCD 이미지 센서 | |||
게인, 셔터 스피드 | ||||
데이터 처리부 | KEYENCE 지정 전용 PC(OS는 Windows7) *2 | |||
정격 | 전원 전압 | 100 ~ 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz | ||
소비 전력 | 최대 450 VA | |||
중량 | 약 11 kg | |||
*1 대물 렌즈 50 배로 표준 단차 2 µm 를 측정하는 경우. |