거칠기 측정기 / 형상 측정기
제품 라인업
원 샷 3D 형상 측정기 「VR-6000 시리즈」는 거칠기 측정기·윤곽 형상 측정기의 계측을 있는 그대로 비접촉으로 실현합니다. 프로브 방식으로는 측정할 수 없는 면 전체의 형상을 0.1 µm의 분해능으로 포착하는 3D 형상 측정기입니다. 뿐만 아니라 전동 회전 유닛도 새롭게 탑재하고 있으므로 샘플을 회전시키면서 측정하여 사각을 없앤 있는 그대로의 단면 형상을 재현할 수 있습니다. 지금까지는 절단을 통해서만 정확하게 측정할 수 있었던 부분의 두께나 깊은 부분의 치수를 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 HDR 스캔 알고리즘에 의해 스캔 능력이 향상되었기 때문에, 광학식 형상 측정기로는 측정하기 어려웠던 광택이 있는 대상 물체나 빛 반사가 약한 소재인 대상 물체도 순식간에 최적의 조건을 판단하여 정확하게 형상을 측정할 수 있습니다. 다이내믹 레인지를 기존 대비 최대 1000 배까지 확대한 스캔을 할 수 있습니다.
백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 「VK-X3000 시리즈」는 레이저 공초점·백색 간섭·포커스 바리에이션의 세 가지 스캔 원리를 구분해서 사용하는 「트리플 스캔 방식」을 채택하여 다양한 대상 물체를 고정도로 측정·분석할 수 있습니다. 최고 분해능 0.01 nm 실현을 통해 나노 레벨의 미세한 형상 변화도 정확하게 측정할 수 있습니다. 최대 스캔 에어리어가 50 mm×50 mm이므로 큰 요철이나 손바닥 사이즈인 대상 물체도 통째로 스캔할 수 있으므로 전체 형상도 부분 형상도 모두 파악할 수 있습니다. 또한, 경면체·투명체와 같은 난이도가 높은 소재도 고속·고정도로 광범위하게 측정합니다. 고배율/저배율, 평면/요철/표면 거칠기, 경면/투명 등 대상 물체에 제한이 없는 완전히 새로운 레이저 현미경입니다.
