레티클과 웨이퍼의 단차 측정

레티클을 투과하여 웨이퍼까지의 거리를 파악하고 단차를 측정합니다. SI-F 시리즈는 대상 물체에서 약 80mm 떨어진 거리에 설치할 수 있는 헤드가 준비되어 있습니다. 장비 내의 부품에 간섭하지 않고 분해능 0.001µm의 초고정도 측정을 실현합니다.