정전 척의 돌기 높이·평면도 측정

센서 헤드 여러 대를 이용한 높이 측정 데이터를 컨트롤러로 연산하여 평면도를 측정합니다. 또한 CL 시리즈는 센서 헤드 내부에 전기 부품이 없는 「발열 제로」 구조입니다. 장비에 온도 변화가 발생할 우려가 없으므로 안정적으로 측정할 수 있습니다.