웨이퍼 반송 시 진동 측정

SI-F 시리즈는 ø2mm 마이크로 헤드가 준비되어 있어 설치상의 제약이 크게 줄어듭니다. 또한, 헤드 내부의 전자 부품을 완전히 배제해 고온 환경이나 진공 환경 등 기존에는 할 수 없었던 측정에도 대응한 실적이 많습니다.