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덮개 표면의 높이 분포를 측정하여 밀폐 진공도를 검사합니다. 대상 물체가 라인 레이저 광의 아래를 통과하는 것만으로도 면 내의 높이를 순식간에 측정할 수 있으므로 인라인 전수 검사가 실현됩니다.
초고해상도 인라인 프로파일 측정기
LJ-X8000 시리즈
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