연마기의 높이 측정

연마기에 센서 헤드를 매립하면 웨이퍼까지의 거리를 비접촉으로 측정하여 갭을 고정도로 관리할 수 있습니다. CL 시리즈는 동축으로 측정할 수 있는 소형 헤드이므로 공간을 절약해서 설치할 수 있습니다.

멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서

CL-3000 시리즈