프로버 스테이지의 평면도 측정

센서 헤드 여러 대를 이용한 높이 측정값을 사용하여 스테이지의 평면도를 측정합니다. SI-F 시리즈의 ø8mm 소형 센서 헤드는 열이 발생하는 부분이 없기 때문에 온도 드리프트 등의 오차가 발생하지 않아 매우 정확하게 측정할 수 있습니다.