노치의 위치 결정

기존에는 1D 레이저 변위 센서로 노치의 위치를 검출했습니다. 웨이퍼가 슬림화되면서 대상 물체가 크게 휘어지면 스폿이 어긋나는 문제가 발생했습니다. LJ-X 시리즈는 라인 레이저이기 때문에 웨이퍼가 휘어 위치가 어긋나는 경우에도 대응할 수 있습니다.