장비 내에서의 웨이퍼 두께 측정

SI-F 시리즈는 BG 테이프를 제거한 웨이퍼 두께를 비접촉으로 측정할 수 있는 센서 헤드가 준비되어 있습니다. 대상 물체까지의 설치 거리도 80mm 이격시킬 수 있어 장비 구성의 영향을 잘 받지 않는 장소에 설치할 수 있습니다. 웨이퍼 두께의 In-situ 측정을 실현합니다.