웨이퍼의 카세트 돌출 검사

캐리어에서 미세하게 돌출된 웨이퍼를 검출합니다. 동축 측정 원리인 CL 시리즈라면 일반적인 삼각 측정 방식 센서로는 난반사광의 영향을 받는 검출이더라도 안정적으로 검사할 수 있습니다.

멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서

CL-3000 시리즈