웨이퍼의 휨 측정

대구경·슬림화 웨이퍼는 로봇 핸드로 반송할 때의 변형이나 파손을 방지하기 위해 휜 양을 측정·검사하는 것이 중요합니다. CL 시리즈는 각종 표면 상태의 대상 물체에 대응할 수 있어 거친면·경면·패턴 유무 등과 관계없이 안정적으로 측정할 수 있습니다.