전극의 펄럭임 검사

슬릿 장비의 전극 펄럭임을 검사합니다. 각도 특성이 좋은 CL 시리즈는 전극이 펄럭거려도 문제없이 측정할 수 있습니다.

멀티 컬러 레이저 동축 변위 센서

CL-3000 시리즈

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