압전 소자의 평면도 측정

소자의 평면도를 측정합니다. 3D 형상으로 대상 물체를 면으로 포착할 수 있기 때문에, 최소 제곱법으로 산출한 기준 평면을 기준으로 평면도를 간단하게 측정할 수 있습니다.

3D 백색 간섭 변위 센서

WI-5000 시리즈

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