소자 조립 후의 평탄도 측정

소자 조립 후의 평탄도를 측정합니다. LJX 시리즈는 헤드를 스캔시킬 때 발생하는 진동을 무시하는 진동 보정 기능이 탑재되어 있으므로 인라인에서의 고정도 검사를 실현합니다.

초고해상도 인라인 프로파일 측정기

LJ-X8000 시리즈