웨이퍼 가장자리의 형상 측정

웨이퍼 가장자리의 형상을 측정합니다. 단차·폭, 각도 등 계측 툴을 선택하기만 하면 간단하게 측정할 수 있습니다. 또한 3200point/Profile의 초고해상도 촬상이 기존에는 어려웠던 고정도 형상 측정을 실현합니다.