웨이퍼 범프의 높이 측정

웨이퍼 상에 형성된 범프의 높이를 측정합니다. 백색 간섭 원리를 채택한 WI 시리즈는 웨이퍼와 같은 경면 대상 물체를 포함하여 다양한 소재·색의 대상 물체를 고정도로 측정할 수 있습니다.

3D 백색 간섭 변위 센서

WI-5000 시리즈