동축 낙사 조명

광학 조명 기법 - 동축 낙사

대개 집적회로(IC)나 횡단면 표본처럼 반사성이 강한 평면 물체는 링 조명으로 관찰하기가 어렵습니다. 표면에 닿은 빛 대부분이 렌즈에서 반사되어 어두운 화상이 만들어질 것입니다. 그러므로 이러한 대상 물체를 관찰할 때는 동축 낙사 (명시야) 조명을 대신 사용하여 밝은 화상을 만들어냅니다. 일반적으로 동축 낙사 조명은 하프 미러를 사용하여 조명의 광축과 렌즈의 광축을 일치시킵니다.

정반사하는 평면의 반사광
비스듬히 조사된 빛은 렌즈에서 반사된다.
수직으로 조사된 빛은 렌즈를 향해 반사된다.
A
렌즈
B
조명
C
반사광
동축 낙사 조명
A
조명
B
렌즈 및 CCD
C
정반사광
D
하프 미러(빛을 반은 반사하고 반은 투과시키는 미러)
E
경면
동축 낙사 조명 화상의 예
링 조명을 적용한 금속 가공면
동축 낙사 조명을 적용한 금속 가공면
링 조명을 적용한 집적 회로
동축 낙사 조명을 적용한 집적 회로

색인