정전 파괴 대책 사례

웨이퍼 테스트 환경에서 확실하게 제전합니다. 대상 물체 부근에 피드백 센서를설치하면 대상 에어리어의 제전 환경을 항상 모니터링할 수 있습니다.

넓은 범위를 고속으로 제전할 수 있습니다. 박리 대전을 목표값 이하로 제전한결과를 기록하기 때문에 만일의 경우에도 프로세스를 추적할 수 있습니다.

다이를 박리할 때 발생한 정전기가 방전되기 전에 고속으로 제전할 수 있습니다. 기존에 반드시 필요했던 유지 보수 공정도 절감할 수 있습니다.

등급 최고의 이온 밸런스 ±1 V로 각종 IC에 대해 안심하고 사용하실 수 있습니다.과거의 제전 환경도 확인할 수 있으며 필요할 때 영향 기간을 특정할 수도 있습니다.

무풍 타입과 에너지 절약 타입으로 공장의 에어 소비량을 최소화하면서 높은 제전 효과를 기대할 수 있습니다.

1대로 넓은 범위를 제전할 수 있습니다. 작업자가 풍량 등의 설정을 바꾸지못하도록 제한하여 공정 리스크를 줄입니다.

기판 검사 시에 발생하는 정전 파괴를 방지할 수 있습니다. 검사에서는 합격했지만 제품 조립 시나 출하 후에 발생하는 불량의 리스크가 감소합니다.

이오나이저를 설치할 공간이 부족한 장비에도 튜브를 통해 제전할 수 있습니다.

설치 장소에 제한이 없는 초소형 본체이며 360° 어느 각도에서도 제전할 수 있습니다.

반송부에서는 기판과 컨베이어의 접촉·박리로 인해 기판이 대전됩니다. 큰 대전은 이물질 부착이나 정전 파괴를 일으켜 제조 불량으로 이어집니다. 제전기를 이용하면 대전이 제거되어 제조 불량이 감소합니다.

무풍 타입과 에너지 절약 타입으로 공장의 에어 소비량을 최소화하면서 높은 제전 효과를 기대할 수 있습니다.

셀 공정은 작업상 반드시 정전기가 발생합니다. 어스 대책이나 도전화 등을 실시해도 부품 박리 시의 대전 또는 중공 작업 시 등에는 이러한 대책만으로는 효과가 부족합니다. 제전기를 이용하면 정전기 대책 효과가 향상됩니다.

전도 체크 시 프로브와 기판 사이에 이물질이 부착되어 있으면 전도 불량으로 판단되어 재검사를 합니다. 이로 인해 수율이 크게 악화됩니다. 또한 미세 프로브인 경우 정전 파괴가 발생할 가능성도 있습니다. 제전기를 이용하면 이러한 문제가 해결됩니다.