전기·전자 부품

기존에는 1차원 레이저 변위 센서로 스캔하여 측정했습니다. LJ-X 시리즈는 라인 레이저이기 때문에 헤드를 움직이지 않고도 캐리어와 기판의 단차를 측정할 수 있습니다. 또한 반송을 정지시키지 않고 측정할 수 있어서 검사 시간이 단축됩니다.

오일 실이나 패킹이 적절한 위치에 세트되어 있지 않은 경우, 누수·기름 누출 등의 중대한 불량이 발생할 수 있습니다. LJ-X 시리즈를 사용하여 인라인에서 전수 수치 관리가 가능해졌습니다.

여러 부분의 검사를 인라인에서 실시합니다. 조건 추출에 사용하거나 일부의 얇은 부분 등도 쉽게 검사할 수 있습니다.

고속·고정도 프로파일 측정기를 이용하여 인라인에서 실시합니다. 비접촉으로 높이를 측정하여 형상을 검사하므로 고정도로 확실한 검사가 가능합니다.

펀칭 직후 단자 부품의 치수를 검사할 수 있습니다. 프레스 이상을 발생 직후 발견하기 때문에 수율 향상으로 이어집니다. TM 시리즈는 고속이면서 교정이 가능한 측정기이므로 전수 검사 및 측정값 보증이 가능합니다.

CMOS를 탑재하기 전에 유닛·커버 글라스 사이의 단차를 측정합니다. CL-3000 시리즈는 대상 물체의 기울기에 영향을 잘 받지 않는 멀티 컬러 공초점 방식을 채택하였기 때문에 고정도의 측정이 가능합니다.

기존의 비접촉 레이저 변위 센서로는 샘플링 속도가 부족하여 측정할 수 없었습니다. LK-G5000 시리즈는 세계 최고인 392 kHz의 샘플링 속도로 미세한 진동까지 포착할 수 있습니다.

CL-3000을 사용하여 리드 프레임까지의 높이를 측정합니다. 측정 결과를 화상 검사 장치로 피드백하여 오토 포커스를 고속으로 제어합니다.

본딩 후 소자의 기울기를 검사합니다. CL-3000 시리즈는 동축으로 측정할 수 있는 멀티 컬러 공초점 방식을 채택했습니다. 대상 물체가 경면·거친 면이라도 동일한 설치 방법으로 측정할 수 있어, 고정도 검사를 간단하게 실현합니다.