공초점 현미경

공초점 현미경의 기능과 작동에 관해서는 고려해야 할 측면이 많습니다.

공초점 현미경이란 무엇인가요?

공초점 현미경은 주변광과 초점이탈광을 차단하는 핀홀이 수광 소자 앞에 내장되어 있습니다. 그 결과, 가장 강렬한 빛을 반사하는 위치를 참높이로 이용할 수 있습니다. 다음 섹션에서는 KEYENCE 3D 레이저 스캐닝 공초점 현미경의 검출 과정을 단계별로 설명합니다.

KEYENCE 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경 VK-X3000

공초점 현미경은 어떻게 작동하나요?

다음 섹션에서는 공초점 원리를 네 단계로 설명합니다.

1. 광투과

A
광원
B
대물렌즈
C
대상

공초점 현미경은 대물렌즈를 거쳐 대상으로 빛을 전달합니다. 대물렌즈를 통과하는 빛은 원하는 측정 대상 위치의 초점으로 집중됩니다.

2. 반사광

A
핀홀
B
하프 미러
C
광 수신부

초점에 있는 대상 물체는 다시 광학계를 통해 하프 미러로 빛을 반사하고, 하프 미러는 빛을 수광 소자로 인도합니다.

3. 반사광이 핀홀을 통과합니다.

A
집중된 레이저광
B
하프 미러

수광 소자 앞에 있는 핀홀은 표본에서 반사되는 빛 중에서 초점을 벗어난 빛을 모두 차단합니다.

4. 포커스 맞추기

A
초점이 맞을 때
B
초점이 맞지 않을 때

공초점 현미경에서 나오는 빛 중 핀홀을 통과하는 빛만 초점이 맞춰지며, 나머지는 마스크 영역에 흡수됩니다. 대상 물체가 초점이 있지 않으면 핀홀에서 어긋난 지점에 빛이 집중되고, 이로써 공초점 현미경에서 나오는 광선이 넓어지면서 빛이 핀홀 위로 집중되지 않게 됩니다. 이는 수광 소자에 닿는 빛의 양이 줄어든다는 것을 의미합니다. 공초점 현미경은 수광 소자로 돌아가는 반사광의 강도를 기준으로 대상에 초점이 맞춰졌는지 아닌지를 검출합니다. 그 결과, 초점이 맞는 영역에서 나오는 빛만 수광 소자에 도달하고 나머지 영역에서 나오는 빛은 차단됩니다.

KEYENCE 백색 간섭계 탑재 레이저 현미경에서는 공초점 원리와 레이저 포인트 스캐너를 이용해 클릭 한 번만에 빠르고 정확한 측정이 자동으로 이루어집니다.

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