측정기의 종류
막 두께 측정기
분광 간섭식 막 두께 측정기
파장 대역이 넓은 빛을 측정 대상에 조사하고 앞뒷면에서 반사된 빛의 간섭 강도 스펙트럼에 FFT 분석을 실시하여 막 두께를 측정합니다. 측정 결과를 측정 대상의 굴절률로 나누면 막 두께가 구해집니다.
광원으로 SLD, LED, 할로겐 램프 등이 있으며 막 두께 범위나 스폿 사이즈, 속도, 수명 등을 고려해 선정합니다. 다층막인 경우 각 막의 경계면에서 반사된 빛을 간섭시키면 각각의 막 두께를 측정할 수 있습니다.
적외선 흡수 방식 막 두께 측정기
측정 대상에 적외선을 조사하고 투과광(또는 반사광)의 분광 스펙트럼으로 특정 파장의 흡광도를 측정해 막 두께로 환산합니다. 특정 파장은 각 소재의 「흡수 스펙트럼과 막 두께의 관계」를 바탕으로 막 두께에 따라 흡광도가 크게 달라지는 파장을 선택합니다.
정전 용량 방식 막 두께 측정기
센서와 마주 보도록 도체면을 고정하고 그 사이에 측정 대상(절연체)을 넣었을 때의 정전 용량을 측정하여 막 두께를 측정합니다. 측정 대상의 유전율은 불명확한 경우가 많으므로, 아무것도 넣지 않았을 때와 두께를 알고 있는 대상 물체를 넣었을 때의 정전 용량을 각각 계측하여 산출합니다.
방사선 방식 막 두께 측정기(β선식, X선식)
측정 대상에 방사선을 조사하면 일부는 후방으로 산란되며 그 선량은 해당 물질의 두께와 원자 번호에 따라 다릅니다.
두께가 늘어나면 후방 산란량이 증가하므로 바탕의 후방 산란량과 피막의 산란량을 비교하면 두께를 측정할 수 있습니다.
바탕과 피막의 원자 번호 차이가 클수록 측정 정도가 높아집니다.
또한 투과식으로 하여 방사선 감쇠량을 측정하면 필름 막 두께 측정기로 사용할 수 있습니다.
